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真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上,从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、?#21363;擰?#32477;缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能,达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。真空镀膜有三?#20013;问劍?#21363;蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。

蒸发物?#23454;?#20998;子被电子碰撞电离后以离子沉积在固体表面,称为离子镀。这种技术是D.麦托克斯于1963年提出的。离子镀是真空蒸发与阴极溅射技术的结合。

离子镀工艺综合了蒸发(高沉积速率)与溅射(良好的膜层附着力)工艺的特点,并有很好的绕射性,可为形状复杂的工件镀膜。

优点:

1.绕镀能力强

离子镀时,蒸发料粒?#37038;且源?#30005;离子的?#38382;?#22312;电场中沿着电力线方向运动,因而凡是有电场存在的部位,均能获得良好镀层,这?#32469;?#36890;真空镀膜只能在直射方向上获得镀层优越得多。因此,这种方法非常适合于镀复零件?#31995;?#20869;孔、凹槽和窄缝。等其他方法难镀的部?#24359;?#29992;普通真空镀膜只能镀直射表面,蒸发料粒子?#28909;?#25856;登云梯一样,只能顺梯而上?#27426;?#31163;子镀则能均匀地绕镀到零件的背面和内?#23383;校?#24102;电离子则好比坐上了直升飞机,能够沿着规定的航线飞?#21046;?#27963;动半径?#27573;?#20869;的任何地方。

2.离子镀镀层质量好

离子镀的镀层组织致密、无针孔、无气泡、厚度均匀。甚至棱面和凹槽都可均匀镀复,不致形成金属瘤。像螺纹一类的零件?#26448;?#38208;复,由于这种工艺方法还能修补工件表面的微小裂纹和麻点?#28909;?#38519;,故可有效地改善被镀零件的表面质量和物理机械性能。疲劳试验表明,如果处理得当,工件疲劳寿命可比镀?#26696;?#30334;?#31181;?#20108;、三十。

3.离子镀清洗过程简化

现有镀膜工艺,多数均要求事先对工件进行严格清洗,既复杂?#22336;?#20107;。?#27426;?#31163;子镀工艺自身就有一种离子轰击清洗作用,并且这一作用还一直?#26377;?#20110;整个镀膜过程。清洗效果极好,能使镀层直接贴近基体,有效地增强了附着力,简化了大量的镀前清洗工作。

4.离子镀可镀材料广泛

离子镀由于是利用高能离子轰击工件表面,使大量的电能在工件表面转换成热能,从而促进了表层组织的扩散作用和化学?#20174;ΑH欢?#25972;个工件,特别是工件心部并未受到高温的影响。因此这种镀膜工艺的应用?#27573;?#36739;广,受到的局限性则较小。通常,各种金属、合金?#32422;?#26576;些?#38115;?#26448;料、绝缘材料、热敏材料和高熔点材料等均可镀复。即可在金属工件上镀非金属或金属,?#37096;?#22312;非金属上镀金属或非金属,甚至可镀塑料、橡胶、石英、陶瓷等。

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